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J-GLOBAL ID：200903072186878414

ウエハー露光装置のアライメント方法

Inventor： 小野寺 恭雄
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991218973
Publication number (International publication number)：1993055126
Application date： Aug. 29, 1991
Publication date： Mar. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、ウエハー露光装置のアライメント方法に関し、下地の影響で、計測される回折光の波形の形状が悪くなっている部分の波形を分離して取り除くことにより、アライメント精度を向上させることができるウエハー露光装置のアライメント方法を提供することを目的する。【構成】 複数個のウエハーアライメントマーク信号を分割し、分割されたアライメントマーク信号の内、ビーム照射される下地の影響でアライメント精度を悪化させると思われるアライメントマーク信号を取り除いて加算することにより、ウエハーのアライメントを行なうように構成する。

Claim (excerpt)：

複数個のウエハーアライメントマーク信号を分割し、分割されたアライメントマーク信号の内、ビーム照射される下地の影響でアライメント精度を悪化させると思われるアライメントマーク信号を取り除いて加算することにより、ウエハーのアライメントを行なうことを特徴とするウエハー露光装置のアライメント方法。