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J-GLOBAL ID:200903072229726478

誘導レーザービームのプラズマによる材料加工方法および装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 矢野 敏雄 (外3名)
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):1996511246
Publication number (International publication number):1998506059
Application date: Aug. 04, 1995
Publication date: Jun. 16, 1998
Summary:
【要約】本発明は、誘導された高エネルギービームのプラズマによる材料加工方法に関する。この方法では、加工材料(10)の領域から発したビームを、加工材料(10)に集束されたレーザービーム(12)の軸で時間に依存して観察する。蒸気毛細管(13)が加工材料(10)に浸入する深さに対する尺度を得るために、蒸気毛細管(13)の専ら横断面を、加工材料の全厚さ(14)を検出する被写界深度で観察し、プラズマビームの強度平均値を浸入深さに対する尺度として使用する。
Claim (excerpt):
誘導された高エネルギービーム、例えばレーザービームのプラズマによる材料加工方法であって、加工材料(10)の領域から発するビームを、加工材料(10)に集束されたレーザービーム(12)の軸線で時間に依存して観察する方法において、 蒸気毛細管(13)の専ら横断面だけを、加工材料の全厚さ(14)を検出する被写界深度で観察し、プラズマビームの強度の平均値を、浸入深さに対する尺度として使用する、ことを特徴とする材料加工方法。
IPC (2):
B23K 26/00 ,  B23K 26/06
FI (2):
B23K 26/00 P ,  B23K 26/06 E
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)

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