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J-GLOBAL ID：200903072229726478

誘導レーザービームのプラズマによる材料加工方法および装置

Inventor： エックハルト バイアー ,  イェルク ベールズィーク ,  ヴォルフガング シュルツ ,  ホルガー ニチュ
Applicant, Patent owner： フラウンホーファー-ゲゼルシャフト ツル フェルデルング デル アンゲヴァンテン フォルシュング エー ファウ
Agent (1)： 矢野 敏雄 (外3名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1996511246
Publication number (International publication number)：1998506059
Application date： Aug. 04, 1995
Publication date： Jun. 16, 1998
Summary：

【要約】本発明は、誘導された高エネルギービームのプラズマによる材料加工方法に関する。この方法では、加工材料(10)の領域から発したビームを、加工材料(10)に集束されたレーザービーム(12)の軸で時間に依存して観察する。蒸気毛細管(13)が加工材料(10)に浸入する深さに対する尺度を得るために、蒸気毛細管(13)の専ら横断面を、加工材料の全厚さ(14)を検出する被写界深度で観察し、プラズマビームの強度平均値を浸入深さに対する尺度として使用する。

Claim (excerpt)：

誘導された高エネルギービーム、例えばレーザービームのプラズマによる材料加工方法であって、加工材料(10)の領域から発するビームを、加工材料(10)に集束されたレーザービーム(12)の軸線で時間に依存して観察する方法において、 蒸気毛細管(13)の専ら横断面だけを、加工材料の全厚さ(14)を検出する被写界深度で観察し、プラズマビームの強度の平均値を、浸入深さに対する尺度として使用する、ことを特徴とする材料加工方法。

IPC (2)：

B23K 26/00 ,  B23K 26/06

FI (2)：

B23K 26/00 P ,  B23K 26/06 E