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J-GLOBAL ID：200903072257858797

光スキャナおよびその製造方法

Inventor：
李 振 鎬

About 李 振 鎬

, 
高 泳 哲

About 高 泳 哲


Applicant, Patent owner：
三星電子株式会社

About 三星電子株式会社


Agent (1)： 磯野 道造
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002244901
Publication number (International publication number)：2003136497
Application date： Aug. 26, 2002
Publication date： May. 14, 2003
Summary：
【要約】【課題】 超小型かつ高速駆動が可能な光スキャナを提供する。【解決手段】 本発明にかかる光スキャナは、ベース基板と、このベース基板上に形成される長方形のフレームと、このフレームの内側で1軸周りに揺動自在に設けられたH形状に形成されたステージと、このステージを揺動自在に支持する支持部と、ステージを駆動するステージ駆動体とから構成される。このステージ駆動対は、ステージの底面に対して垂直となるように形成されたくし形の電極(移動くし形電極)と、この移動くし形電極と噛み合うように基板上に形成されたくし形の電極(固定くし形電極)とを有している。このくし形電極に電流を流すと、移動くし形電極と固定くし形電極との間に生じる静電引力により、ステージが揺動駆動される。これらの電極はくし形状を有しており表面積が大きいので、従来よりも微弱な電流で容易に駆動される。
Claim (excerpt)：
所定パターンの配線層が上面に形成されたベース基板と、前記ベース基板上に形成される長方形のフレームと、前記フレームの内側で1方向の中心軸周りに揺動運動すると共に、中央領域、および該中央領域から前記中心軸に対して平行に延出させて設けられた複数の拡張領域からH形状に形成されたステージと、前記中心軸上に位置して前記フレームに連結される支持ビーム、および前記支持ビームから延出して前記ステージの中央領域に連結されるトーションバーからなる支持部と、前記ステージの底面に形成された移動くし形電極、およびこれに対面する基板上に形成された固定くし形電極を含むステージ駆動体とを備えることを特徴とする光スキャナ。
IPC (4)：
B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  G02B 26/10 ,  G02B 26/10 104
FI (4)：
B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  G02B 26/10 F ,  G02B 26/10 104 Z
F-Term (3)：
2H045AB06 ,  2H045AB73 ,  2H045DA12
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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