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J-GLOBAL ID：200903072278356929

レジスト塗布装置及びレジスト塗布方法

Inventor： 小島 忠幸 ,  石崎 恭弘 ,  黒川 勝
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 岡本 啓三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996062332
Publication number (International publication number)：1997253564
Application date： Mar. 19, 1996
Publication date： Sep. 30, 1997
Summary：

【要約】【課題】 レジスト供給量の変更が容易であるとともに、フィルタの目詰まりによる不良品の発生を回避できるレジスト塗布装置及びレジスト塗布方法を提供する。【解決手段】 ベローズポンプ2からレジスト液を吐出する際に、ベローズポンプ2の変位量をレーザ変位センサ7で検出し、センサ7から出力されるベローズ変位情報Xsと予め設定されたベローズ変位設定値Xrとを動作停止比較部14で比較する。そして、Xr≦Xsとなったときに、エアーシリンダ3の軸3cの移動方向を反転させる。目詰まり判定部13は、Xr≦Xsになるまでの時間を検出し、予め設定された時間以上の場合はフィルタ4が目詰まりしたとして外部にアラーム信号Alarm を出力する。

Claim (excerpt)：

駆動軸が一方向に往復運動してレジスト液を吸入・吐出するレジストポンプと、このレジストポンプから吐出されたレジスト液を濾過するフィルタと、前記レジストポンプを駆動するポンプ駆動手段と、前記レジストポンプの前記駆動軸の移動方向の変位を検出するレジストポンプ変位検出手段と、このレジストポンプ変位検出手段により検出されたレジストポンプ変位量が予め設定された設定変位量になるまで前記ポンプ駆動手段を介して前記レジストポンプを駆動させる制御手段と、前記レジストポンプの変位量が前記設定変位量になるまでの時間を検出してこの時間が予め設定された設定時間以上のときにフィルタ目詰まり検知信号を出力するフィルタ目詰まり検出手段とを有することを特徴とするレジスト塗布装置。

IPC (4)：

B05C 11/10 ,  B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/027

FI (4)：

B05C 11/10 ,  B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/30 564 Z