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J-GLOBAL ID：200903072291352690

プラズマ発生装置

Inventor： 塚本 弘範 ,  長井 政春 ,  玉村 好司 ,  池田 昌夫 ,  伊藤 哲 ,  谷口 理 ,  奥山 浩之
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 松隈 秀盛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995105997
Publication number (International publication number)：1996055800
Application date： Apr. 28, 1995
Publication date： Feb. 27, 1996
Summary：

【要約】【目的】 プラズマ発生装置において、対象物例えば被成膜基板に向かうイオン等の荷電粒子を効果的に排除する。【構成】 チェンバー40内に開口するプラズマ放出口48を有するプラズマ発生源44を有し、チェンバー40内のプラズマ放出口48付近に、プラズマ中のイオン種や電子等の荷電粒子を偏向ないしは除去する電界もしくは磁界印加手段を設ける。

Claim (excerpt)：

チェンバー内に開口するプラズマ放出口を有するプラズマ発生源を有し、上記チェンバー内の上記プラズマ放出口付近に、プラズマ中の荷電粒子を偏向ないしは除去する手段を有することを特徴とするプラズマ発生装置。

IPC (4)：

H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 33/00 ,  H01S 3/18