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J-GLOBAL ID：200903072297623245
集積型多機能SPMセンサー
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994141943
Publication number (International publication number)：1996005642
Application date： Jun. 23, 1994
Publication date： Jan. 12, 1996
Summary：
【要約】【目的】適宜選択的にAFM測定、STM測定、SNOM測定が可能であると共に、AFMとSNOMの同時測定が可能な簡単且つコンパクトな集積型多機能SPMセンサーを提供する。【構成】自由端に探針15aを有するカンチレバー部27と、このカンチレバー部の基端を支持する支持部29と、カンチレバー部に設けられ、電極17を介して直流定電圧電源33に接続されたピエゾ抵抗層15と、カンチレバー部に設けられ、電極25を介して直流定電圧電源37に接続されたピエゾ抵抗層23と、探針を測定試料に対して走査させる際、各ピエゾ抵抗層に流れる電流値の変化を検出する電流計測定用オペアンプ35,39と、これらオペアンプによって検出された電流値変化に基づいて、測定試料の表面情報を算出して出力する演算回路41とを備えている。
Claim (excerpt)：
自由端に探針を有するカンチレバー部と、このカンチレバー部の基端を支持する支持部と、カンチレバー部に設けられ、所定の電圧が印加された第1の導電層と、カンチレバー部に設けられ、所定の電圧が印加された第2の導電層と、前記探針を測定試料に対して走査させる際に生じる前記第1及び第2の導電層に流れる電流値の変化を検出する検出手段と、この検出手段によって検出された電流値変化に基づいて、測定試料の表面情報を算出して出力する演算回路とを備えていることを特徴とする集積型多機能SPMセンサー。
IPC (3)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
