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J-GLOBAL ID：200903072326751657

静電容量式変位検出装置

Inventor： 安達 聡 ,  夜久 亨 ,  萩野 眞樹
Applicant, Patent owner： 株式会社ミツトヨ ,  株式会社日立製作所
Agent (1)： 伊丹 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995350204
Publication number (International publication number)：1997178407
Application date： Dec. 22, 1995
Publication date： Jul. 11, 1997
Summary：

【要約】【課題】 低消費電力で、安定したサンプリングが可能であると共に、耐ノイズ性能を大幅に向上させる。【解決手段】 静電容量式センサ1から出力されるセンサ出力信号を復調回路2でサンプリングする際のサンプリング制御回路3は、遅延ロックループ(DLL)回路41を備えている。DLL回路41は、システムクロック信号CKをn段の可変遅延回路421 〜42n で遅延させると共に、その遅延クロック信号CK′とシステムクロック信号CKとを位相同期させる。このDLL回路41のループの外側には、可変遅延回路421 〜42n と同一の遅延制御を施される1段の可変遅延回路46が設けられる。この可変遅延回路46での短い遅延時間を復調回路2のサンプリング時間として与えることにより、外部ノイズによるサンプリングノイズの影響を受ける前にサンプリングを終了させる。

Claim (excerpt)：

相対移動可能に対向配置された第1の要素及び第2の要素にそれぞれ異なるピッチで形成された第1の電極及び第2の電極が容量結合され、前記第1の電極に印加された駆動信号を前記第2の電極を介して受信すると共に、前記第1の要素と前記第2の要素との変位に応じて前記第2の電極を介して受信される受信信号の位相が変化する静電容量式検出器と、この静電容量式検出器から出力される受信信号をサンプリングして前記第1の要素と前記第2の要素との変位を示す信号を出力する復調手段と、この復調手段における前記受信信号のサンプリングタイミング及びサンプリング時間を決定するサンプリング制御手段とを備え、前記サンプリング制御手段は、前記復調手段及びサンプリング制御手段を制御するシステムクロック信号の変化タイミングからずれたタイミングで前記受信信号をサンプリングするものであり、且つ外部ノイズによるサンプリングレベルの変動の影響を受ける前に前記サンプリングを終了させるように前記サンプリング時間を決定するものであることを特徴とする静電容量式変位検出装置。

IPC (3)：

G01B 7/00 ,  G01B 7/02 ,  G01D 5/24

FI (3)：

G01B 7/00 K ,  G01B 7/02 J ,  G01D 5/24 D