Pat

J-GLOBAL ID：200903072328170295

薄膜トランジスタアレイ基板の検査方法

Inventor： 山守 秋喜
Applicant, Patent owner： 鹿児島日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992114382
Publication number (International publication number)：1993312882
Application date： May. 07, 1992
Publication date： Nov. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】薄膜トランジスタアレイ基板の配線の短絡断線検査において、短時間でより正確に不良箇所まで特定する。【構成】被検査配線に電圧を印加し、その時の電流値又は抵抗値を測定する。それと同時に、配線に電流が流れると発熱することを利用し、赤外放射温度計で配線の温度分布を測定する。これにより短時間で不良箇所まで特定が可能となる。

Claim (excerpt)：

薄膜トランジスタアレイ基板の配線の短絡・断線箇所の検査において、配線または配線間に電圧を印加し電流が流れるかどうかを調べるとともに、赤外放射温度計により温度分布を測定することを特徴とする薄膜トランジスタアレイ基板の検査方法。

IPC (5)：

G01R 31/02 ,  G01J 5/48 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1343 ,  G02F 1/136 500