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J-GLOBAL ID：200903072328589156
大面積発光材料およびその製法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
曽々木 太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992079322
Publication number (International publication number)：1993243607
Application date： Feb. 28, 1992
Publication date： Sep. 21, 1993
Summary：
【要約】【目的】 大面積にかつ安価に形成できる発光材料およびその製法を提供する。【構成】 本発明の発光材料は、ガラス基板1または透明電極2が形成されたガラス基板1上に、水素化アモルファスシリコン層3と微結晶のシリコンを含む水素化アモルファスシリコン層4とからなる積層体単位が、多層に形成されてなる多層膜5からなるものである。また、本発明の発光材料の製法は、ガラス基板1または透明電極2が形成されたガラス基板1上に、例えば、プラズマCVD法により、水素化アモルファスシリコン3層を形成し、しかるのち、ECRプラズマにより水素化アモルファスシリコン層3の表面層を、微結晶のシリコンを含む水素化アモルファスシリコン層4に改質する工程を繰り返して、多層膜5を形成するものである。
Claim (excerpt)：
ガラス基板または透明電極が形成されたガラス基板上に、水素化アモルファスシリコン層と微結晶のシリコンを含むアモルファスシリコン層とからなる積層体単位が、多層に形成されてなることを特徴とする大面積発光材料。
Patent cited by the Patent：
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