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J-GLOBAL ID：200903072331776986

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

Inventor： 市川 立也 ,  遠藤 昌樹 ,  鎌倉 祐一 ,  中村 三佳 ,  沢辺 賢
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992221370
Publication number (International publication number)：1994065327
Application date： Aug. 20, 1992
Publication date： Mar. 08, 1994
Summary：

【要約】【目的】 優れた密着性とテント強度、現像性、剥離性を有し、高精度のレリーフ像を可能とする感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 (A)メタクリル酸、アクリル酸メチル及び一般式(I)で示されるアルキルメタクリレートを必須成分として共重合して得られるTgが50°C〜120°C、重量平均分子量が30,000〜200,000のビニル系共重合化合物、【化1】(式中R1は、炭素数1〜4のアルキル基である)(B)エチレン性不飽和化合物並びに(C)活性線により遊離ラジカルを生成しうる光開始剤系を含有してなる感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント。

Claim (excerpt)：

(A)メタクリル酸、アクリル酸メチル及び一般式(I)で示されるアルキルメタクリレートを必須成分として共重合して得られるTgが50°C〜120°C、重量平均分子量が30,000〜200,000のビニル系共重合化合物、【化1】(式中R1は、炭素数1〜4のアルキル基である)(B)エチレン性不飽和化合物並びに(C)活性線により遊離ラジカルを生成しうる光開始剤系を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (10)：

C08F220/18 MMF ,  C08F 2/44 MCS ,  C08F 2/50 MDH ,  C08F220/20 MMV ,  C08F299/02 MRS ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/027 511 ,  G03F 7/033 ,  H05K 3/00 ,  C23F 1/00 102

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭60-214354
  
• 特開平3-160058
  
• 特開昭3-240715