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J-GLOBAL ID：200903072335275639

半導体デバイスの欠陥分類方法および半導体デバイスの歩留まり予測方法および半導体デバイスの製造方法および半導体デバイスの欠陥分類システムおよび半導体デバイス分類装置およびそれらに用いるプログラムおよび記録媒体

Inventor： 濱村 有一 ,  杉本 有俊 ,  奥田 浩人
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 鈴木 市郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001209741
Publication number (International publication number)：2003023056
Application date： Jul. 10, 2001
Publication date： Jan. 24, 2003
Summary：

【要約】【課題】 インラインの欠陥検査工程において、高精度な欠陥致命性評価、歩留まり予測、故障個所特定を行うこと。【解決手段】 半導体チップのレイアウトパターンデータと欠陥画像との重ね合わせによって、不良候補となる配線箇所を抽出し、抽出した不良候補の配線の配線機能種別を弁別することで、ショートモード種別や断線モード種別等の配線不良モード種別を分類する。

Claim (excerpt)：

半導体チップのレイアウトパターンデータと欠陥画像との重ね合わせによって、不良候補となる配線箇所を抽出し、抽出した不良候補の配線の配線機能種別を弁別することで、ショートモード種別や断線モード種別等の配線不良モード種別を分類することを特徴とする半導体デバイスの欠陥分類方法。

IPC (6)：

H01L 21/66 ,  G01N 21/956 ,  G01R 31/02 ,  G01R 31/302 ,  G06T 1/00 305 ,  G06T 7/00 300

FI (7)：

H01L 21/66 Z ,  H01L 21/66 A ,  G01N 21/956 A ,  G01R 31/02 ,  G06T 1/00 305 A ,  G06T 7/00 300 E ,  G01R 31/28 L

F-Term (46)：

2G014AA02 ,  2G014AA03 ,  2G014AA13 ,  2G014AB21 ,  2G014AB59 ,  2G014AC11 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EC01 ,  2G132AA08 ,  2G132AB00 ,  2G132AD15 ,  2G132AF13 ,  2G132AL12 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106BA04 ,  4M106CA16 ,  4M106CA39 ,  4M106CA41 ,  4M106DA15 ,  4M106DH01 ,  4M106DH31 ,  4M106DH34 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ23 ,  4M106DJ40 ,  5B057AA03 ,  5B057CA12 ,  5B057CB12 ,  5B057CC01 ,  5B057CE08 ,  5B057CH01 ,  5B057CH14 ,  5B057DA03 ,  5B057DA12 ,  5B057DB02 ,  5B057DC33 ,  5L096BA03 ,  5L096DA02 ,  5L096GA08 ,  5L096HA09