Pat

J-GLOBAL ID：200903072351455590

ダイヤモンドの製造方法

Inventor： 田辺 敬一朗 ,  藤森 直治
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 深見 久郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995118485
Publication number (International publication number)：1996151297
Application date： May. 17, 1995
Publication date： Jun. 11, 1996
Summary：

【要約】【目的】 従来よりも耐摩耗性に優れた気相合成ダイヤモンドを製造する。【構成】 水素および炭素源である有機化合物を主成分とする原料ガスから、多結晶ダイヤモンドを気相合成する方法において、原料ガスにおける水素に対する炭素源の濃度を経時的にかつ周期的に変化させることにより、表面からX線を入射して得られる(111)結晶面のロッキングカーブのFWHM値が2°〜20°の範囲の多結晶ダイヤモンドを気相合成する。

Claim (excerpt)：

水素および炭素源である有機化合物を主成分とする原料ガスから、多結晶ダイヤモンドを気相合成する方法であって、前記原料ガスにおいて、前記水素に対する前記炭素源の濃度を経時的にかつ周期的に変化させる原料ガス供給工程を備え、それにより、表面からX線を入射して得られる(111)結晶面のロッキングカーブのFWHM値が2°〜20°の範囲の多結晶ダイヤモンドを気相合成することを特徴とする、ダイヤモンドの製造方法。

IPC (3)：

C30B 29/04 ,  B23B 27/14 ,  C30B 28/14