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J-GLOBAL ID：200903072351912649

試料冷却システム

Inventor： 家永 勝治
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 青木 健二 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995277695
Publication number (International publication number)：1997120789
Application date： Oct. 25, 1995
Publication date： May. 06, 1997
Summary：

【要約】【目的】試料の温度範囲をできるだけ広範囲に制御可能にすることにより、冷媒の温度より高い温度の低温状態における試料の観察をより一層正確に行う。【構成】制御装置26が電磁開閉弁24を開いて冷却モードに設定すると、大量の気化された冷媒14が排気ポンプ23により排気管22を通して外部に排出される。冷媒保持容器15から大量の冷媒14が冷媒導入管19を通して蓄熱体20の方に導入されて、その大量の冷熱が蓄熱体20に蓄えられ、これにより試料7が急速に冷却される。冷却モードの設定時間が経過すると、制御装置26は電磁開閉弁24を閉じて観察モードに設定する。冷媒14の排出流量が抑制されて冷媒14の気化が抑えられるので、機械的振動がほとんど発生しなく、電子顕微鏡の分解能を低下させない。この観察モードにおいて、冷媒14の温度以上の高い所望の低温状態での試料7の観察がより一層正確に行われる。

Claim (excerpt)：

所定温度の冷媒と、この冷媒を収容保持する冷媒保持手段と、この冷媒保持手段の前記冷媒を所定の熱交換位置に導入する冷媒導入通路と、この冷媒導入通路の熱交換位置に導入された前記冷媒の冷熱を試料に伝導する冷熱伝導手段と、前記冷媒導入通路に連結され気化された前記冷媒が流れる排気通路と、この排気通路に設けられ、前記気化された冷媒の流量を制御する流量制御手段と、前記気化された冷媒の流量に応じて、少なくとも前記試料を急速に冷却する最大流量モードおよび電子顕微鏡等の観察手段の分解能を低下させない最小流量モードを含む所定数のモードが設定され、これらの所定数のモードのうちの1つのモードの必要時その1つのモードが設定されるように前記流量制御手段を制御する制御装置とを備え、前記制御装置により少なくとも前記最小流量モードが設定されたときには、前記観察手段による前記試料の観察が行われるようにすることを特徴とする試料冷却システム。

IPC (3)：

H01J 37/20 ,  G01N 35/00 ,  H01J 37/26

FI (3)：

H01J 37/20 E ,  G01N 35/00 B ,  H01J 37/26