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J-GLOBAL ID:200903072354860186

空洞内レーザースペクトル測定法(ILS)による長高感度ガス検出のためのダイオード・レーザーポンプ線形空洞レーザーシステム

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 柳田 征史 (外1名)
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):1997511259
Publication number (International publication number):1998503288
Application date: Aug. 29, 1996
Publication date: Mar. 24, 1998
Summary:
【要約】1ppm(百万分の一)以下の濃度から1ppt(一兆分の一)まで延在する汚染物が空洞内レーザースペクトル測定法(ILS)を用いて光学的に検出される。光学的にポンピングされる固体レーザー(ILSレーザー)(500)を検出器として用いる。ILSレーザー(500)は、ポンピング供給源(100)によって光学的にポンピングされるレーザー空洞(902)に含まれるイオン拡散結晶媒体(507)を含む。ガス種汚染物を含むガスサンプルはレーザー空洞(902)の内部で前記イオン拡散結晶(507)の一側面に置かれる。ILSレーザー(500)からの出力信号を検出分析し、(スペクトル・サインを介して)ガス種を同定する。ガス種の濃度もスペクトル・サインから決定できる。本発明の第1の実施例において、ILSレーザー(500)は半導体ダイオード・レーザー(914)により光学的にポンピングされるイオン拡散結晶媒体(507)を含む。第2の実施例において、ILSレーザー(500)は線形レーザー空洞(902)に含まれるイオン拡散結晶媒体(507)を含む。半導体ダイオード・レーザー(914)および線形レーザー空洞(902)の使用によって他の設計に比べ比較的小型かつコンパクトにILSレーザー(500)を作成することができる。ガス検知システムが製造される小型/コンパクトな寸法は広範な現実用途に適合する。
Claim (excerpt):
ガスサンプル中のガス種の存在を検知するためのガス検知システム(10)であって、 (a) レーザー空洞(902)と、 (b) 2つの端部を有するイオン拡散結晶(507)と、 (c) 前記レーザー空洞(902)の外部に配置され前記イオン拡散結晶(507)を光学的に励起することで前記レーザー空洞(902)から射出する出力ビームを発生する出力を有する半導体ダイオード・レーザー(914)と、 (d) 前記レーザー空洞(902)の外側に配置され前記半導体ダイオード・レーザー(914)の前記出力を整形するビーム整形光学系(200)と、 (e) 前記レーザー空洞(902)の前記ガスサンプルを保持するための容器(400、406)とを含み、前記イオン拡散結晶(507)の前記出力ビームが前記レーザー空洞(902)を出る前に前記ガスサンプルを通過することを特徴とするシステム。
IPC (2):
G01N 21/27 ,  G01N 21/01
FI (2):
G01N 21/27 Z ,  G01N 21/01 D
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
  • 特表平4-501036
  • 色素レーザ発振装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平5-035147   Applicant:レーザー濃縮技術研究組合, 株式会社東芝
  • 特開昭51-046182

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