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J-GLOBAL ID：200903072404287385
自動焦点調節装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
重信 和男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993344973
Publication number (International publication number)：1995174962
Application date： Dec. 20, 1993
Publication date： Jul. 14, 1995
Summary：
【要約】【目的】 合焦調節を正確かつ迅速に行うとともに、対物レンズの変倍に応じて速やかに合焦させるようにする。【構成】 投影光学系Xの投影マスク9に楕円形又は長方形をなすピンホール10を形成し、かつ試料面1aからの反射光を受光するセンサ19、20、22、23を結像される楕円形又は長方形反射光の長軸と直交する方向に光電素子を配列したラインセンサとしたことにより、ピンホール像が長軸及び短軸いずれの方向にずれて結像されても、センサに対する反射光の光強度のばらつきは極く僅かとなるため、センサよりの出力値に大きな誤差が生じることがない。
Claim (excerpt)：
試料台上の物体を対物レンズを通して観察する観察光学系と、試料面を投影マスクを透過した透過光により照射し、試料面に所定形状の像を結像させる投影光学系と、前記試料面に結像された像の反射光を受光するとともに、その結像基準点の前方及び後方にぞれぞれ配置することにより、前ピン及び後ピン信号を出力する1対のセンサを有する焦点検出用光学系と、各センサからの出力信号を処理し、前記試料台又は対物レンズを合焦位置に移動する制御手段とを備える自動焦点調節装置において、前記投影マスクに略楕円形又は長方形をなすピンホールを形成するとともに、各センサを、前記ピンホールを透過して結像される略楕円形又は長方形反射光の長軸と直交する方向に光電素子を配列したラインセンサとしたことを特徴とする自動焦点調節装置。
IPC (2)：
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