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J-GLOBAL ID：200903072413691415

紫外線硬化型樹脂組成物

Inventor： 五十嵐 一郎 ,  佐々木 裕 ,  実松 徹司 ,  太田 博之 ,  佐藤 雅伸 ,  西牟田 浩史
Applicant, Patent owner： 東亞合成化学工業株式会社 ,  大日本スクリーン製造株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991284021
Publication number (International publication number)：1993100423
Application date： Oct. 04, 1991
Publication date： Apr. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】活性エネルギー線の照射によって容易に硬化し、アルカリ溶解・剥離性を有する硬化物を形成する低粘度の樹脂組成物であり、特にエッチングレジスト用樹脂組成物として優れた紫外線硬化型樹脂組成物を提供する。【構成】下記(a)、(b)、(c)及び(d)からなり、25°Cにおける粘度が5000cps 以下であることを特徴とする硬化性樹脂組成物。(a)分子中に、一個のカルボキシル基及び一個のアクリロイル或はメタクリロイル基を持つ化合物(b)分子中に、二個以上のアクリロイル或はメタクリロイル基を持つ化合物(c)レベリング剤(d)第三級アミン型光開始剤、又はこれとチオキサントン系光開始剤からなる光開始剤

Claim (excerpt)：

下記(a)、(b)、(c)及び(d)からなり、25°Cにおける粘度が5000cps 以下であることを特徴とする紫外線硬化型樹脂組成物。(a)分子中に、一個のカルボキシル基及び一個のアクリロイル或はメタクリロイル基を持つ化合物(b)分子中に、二個以上のアクリロイル或はメタクリロイル基を持つ化合物(c)レベリング剤(d)第三級アミン型光開始剤、又はこれとチオキサントン系光開始剤からなる光開始剤。

IPC (13)：

G03F 7/027 501 ,  C08F 2/50 MDP ,  C08F220/26 MML ,  C08F220/28 MMV ,  C09D 4/02 PDR ,  C09D 4/02 PDS ,  C09D 5/00 PNV ,  C09D 7/06 PSL ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 511 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027 ,  C08F 2/44 MCR

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平1-261410
  
• 特開平3-024168
  
• 特開昭57-099636
  
• 特開昭62-288667