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J-GLOBAL ID：200903072444547010

容量式湿度センサ

Inventor： 浜本 和明 ,  豊田 稲男
Applicant, Patent owner： 株式会社デンソー
Agent (1)： 伊藤 洋二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001353606
Publication number (International publication number)：2003156464
Application date： Nov. 19, 2001
Publication date： May. 30, 2003
Summary：

【要約】【課題】 容量式湿度センサにおいて、センサを構成する基板サイズをより小さな面積としつつ、必要な容量変化量を効率的に確保できるようにする。【解決手段】 半導体基板10の一面上には、一対の櫛歯状の電極31、32が同一平面上にて離間して対向するように形成され、一対の電極31、32を覆うように感湿膜50が形成されており、周囲の湿度の変化に応じて変化する一対の電極31、32間の容量値に基づいて湿度を検出するようにしている。ここで、一対の電極31、32における個々の櫛歯の幅をL1、一方の電極31の櫛歯とこれに対向する他方の電極32の櫛歯との距離をL2としたとき、幅L1が3μm未満の時は距離L2が5μmであり、幅L1が3μm以上の時は距離L2が5μm以下である関係を満足している。

Claim (excerpt)：

基板(10)と、前記基板の一面上に同一平面上にて離間して対向するように形成された一対の電極(31、32)と、前記一対の電極および前記一対の電極の間を覆うように形成され、湿度に応じて容量値が変化する感湿膜(50)とを備え、前記一対の電極は互いに櫛歯状をなして噛み合うように配置されており、周囲の湿度の変化に応じて変化する前記一対の電極間の容量値に基づいて湿度を検出するようにした容量式湿度センサであって、前記一対の電極における個々の櫛歯の幅をL1、一方の前記電極の櫛歯とこれに対向する他方の前記電極の櫛歯との距離をL2としたとき、前記幅L1が3μm未満の時は、前記距離L2が5μmであり、前記幅L1が3μm以上の時は、前記距離L2が5μm以下である関係を満足していることを特徴とする容量式湿度センサ。

F-Term (8)：

2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AE19 ,  2G060AF10 ,  2G060AG06 ,  2G060AG08 ,  2G060AG10 ,  2G060BB10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭63-001962
  
• 特開昭57-148242