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J-GLOBAL ID：200903072452302833

測定検査用顕微鏡

Inventor： 竹内 淳 ,  大木 裕史
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998158757
Publication number (International publication number)：1999352408
Application date： Jun. 08, 1998
Publication date： Dec. 24, 1999
Summary：

【要約】【課題】 試料上に解像限界付近の周期パターンが存在していても、安価且つ簡単な構成でコントラストの良い試料像を得ることができる測定検査用顕微鏡を得る。【解決手段】 周期的なパターンを有する試料がステージ上に載置される。照明系は、試料の所定領域に対して照明光を照射し、観察系は、試料からの光を受けて試料の像を形成する。照明系は、試料に照射される照明光を、周期的なパターンの周期方向と同一方向の直線偏光にする手段を有する。

Claim (excerpt)：

周期的なパターンを有する試料を載置するステージと、試料の所定領域に対して照明光を照射する照明系と、前記試料からの光を受けて前記試料の像を形成する観察系とを有する顕微鏡であって、前記照明系は、前記試料に照射される照明光を、前記周期的なパターンの周期方向と同一方向の直線偏光にする手段を有することを特徴とする測定検査用顕微鏡。