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J-GLOBAL ID:200903072482396662
プラズマ測定用プローブ
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
三好 祥二
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995262447
Publication number (International publication number):1997082489
Application date: Sep. 14, 1995
Publication date: Mar. 28, 1997
Summary:
【要約】【目的】プラズマ測定用プローブに於いて、金属電極表面に反応生成物が堆積しない様にし、測定の精度を向上させると共に堆積物除去の清掃時間を短縮し、稼働率の向上を図る。【構成】電極板15の裏面に絶縁層16を堆積生成した後、ヒータ17を堆積生成し、又電極板の表面検出部15aを残して絶縁層を堆積生成したプラズマ測定用プローブに係り、プラズマ測定用プローブをヒータにより加熱することができるので、反応生成物のプローブへの堆積を抑止し得る。
Claim (excerpt):
電極板の裏面にヒータを設けたことを特徴とするプラズマ測定用プローブ。
IPC (2):
FI (2):
H05H 1/00 A
, H01L 21/302 B
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