Pat
J-GLOBAL ID：200903072490984808
レーザ装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
木村 高久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996057783
Publication number (International publication number)：1997248682
Application date： Mar. 14, 1996
Publication date： Sep. 22, 1997
Summary：
【要約】【課題】連続パルス発振の全てパルスにおいてパルスエネルギーを常に均一にして、光加工の精度をよりいっそう向上させる。【解決手段】最初の所定個数の各パルスに関しては、過去のパルス発振のデータのうち、発振停止時間、および1バーストサイクル内でのパルスの順番が同じで、かつ今回のパルス発振の目標パルスエネルギーに近い出力パルスエネルギーのモニタ値とそのときのパルスの励起強度を少なくとも1組読み出し、この読み出した値に基づいて今回のパルス発振の際の励起強度を演算し、該演算した励起強度値に基づいてパルス発振を行うとともに、前記最初の所定個数のパルス以降に発生される各パルスに関しては、今回のバースト周期内で既に出力されたパルスのパルスエネルギーモニタ値およびそのときの励起強度値を読み出し、これらの値に基づいて今回のパルス発振の際の励起強度値を演算し、この励起強度に基づいてパルス発振を行う。
Claim (excerpt)：
レーザ光を所定回数連続してパルス発振させる連続発振動作と、このパルス発振を所定時間休止する停止動作を交互に実行する運転を1バーストサイクルとするバーストモード運転を繰り返し行ない、前記パルス発振の各出力エネルギーが所定の大きさとなるようにレーザの励起強度を制御するレーザ装置において、前記連続発振動作を行ったときの最初の所定個数の各パルスに関して、各パルス発振の際の電源電圧を、発振停止時間、1バーストサイクル内でのパルスの順番、出力されたパルスエネルギーのモニタ値に対応づけて記憶するとともに、前記最初の所定個数のパルス以降に発生される各パルスに関しては、各パルス発振の際の励起強度を出力されたパルスエネルギーのモニタ値に対応づけて記憶する記憶手段と、前記連続パルス発振を行う際、前記最初の所定個数の各パルスに関しては、前記記憶手段に記憶した過去のパルス発振のデータのうち、発振停止時間、および1バーストサイクル内でのパルスの順番が同じで、かつ今回のパルス発振の目標パルスエネルギーに近い出力パルスエネルギーのモニタ値とそのときのパルスの励起強度を少なくとも1組読み出し、この読み出した値に基づいて今回のパルス発振の際の励起強度を演算し、該演算した励起強度値に基づいてパルス発振を行う第1の電源電圧制御手段と、前記連続パルス発振を行う際、前記最初の所定個数のパルス以降に発生される各パルスに関しては、前記記憶手段から今回のバースト周期内で既に出力されたパルスのパルスエネルギーモニタ値およびそのときの励起強度値を読み出し、これらの値に基づいて今回のパルス発振の際の励起強度値を演算し、この励起強度に基づいてパルス発振を行う第2の電源電圧制御手段と、を備えたことを特徴とするレーザ装置。
IPC (3)：
B23K 26/00
, H01S 3/00
, H01S 3/104
B23K 26/00 N
, H01S 3/00 B
, H01S 3/104
Cited by examiner (3)
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エキシマレーザ制御装置及び加工装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平3-353125
Applicant：株式会社ニコン
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レーザ装置の出力制御装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平5-249483
Applicant：株式会社小松製作所
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レーザ出力制御装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平4-010975
Applicant：三菱電機株式会社
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