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J-GLOBAL ID：200903072579136258
ウェハとトレーのセッティングシステムとそのためのトレーへのウェハセッティング装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
飯田 堅太郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996312382
Publication number (International publication number)：1998154740
Application date： Nov. 22, 1996
Publication date： Jun. 09, 1998
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 ウェハを熱処理用のトレーに載置させ、セッティングされるウェハを搬送することによって、大幅な合理化を図ることができるウェハとトレーのセッティングシステムとそのためのトレーへのウェハセッティング装置を提供すること。【解決手段】 ウェハWとトレー10をそれぞれロボット2で搬送し、トレー10にウェハWをセットステージ5においてセッティングした後、ウェハセッティングトレーをトレーステージ6に搬送する。セットステージ5では、トレー支持台と、トレー支持台のピン穴に挿通可能なピンを有する昇降台と、昇降台を回転駆動する駆動モータと、昇降台を昇降駆動するシリンダと、を備えるセッティング装置51が配置されている。そして、トレー支持台に収納されたトレー10の凹状収納部にハンド24に吸着把持されたウェハWがセッティングされる。
Claim (excerpt)：
ウェハより大径に形成され複数個の穴が形成されるトレーに、前記ウェハをセッティングさせて搬送するウェハとトレーのセッティングシステムであって、少なくとも、前記ウェハを収納するカセットステージと、前記トレーを収納するトレーステージと、前記ウェハを前記トレー上にセッティングするセットステージと、前記ウェハを前記カセットステージから吸着把持するとともに、前記トレーを前記トレーステージから吸着把持して次ステージに搬送する搬送ロボットと、を備えて構成され、前記搬送ロボットが、セットステージにおいてセッティングされたウェハを、前記トレーステージに収納するように搬送することを特徴とするウェハとトレーのセッティングシステム。
FI (2)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/68 N
