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J-GLOBAL ID：200903072582958773
電位測定方法および装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
岩佐 義幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993102050
Publication number (International publication number)：1994308203
Application date： Apr. 28, 1993
Publication date： Nov. 04, 1994
Summary：
【要約】【目的】 半導体回路の配線電位を非接触に測定する方法および装置を提供する。【構成】 半導体回路2の配線に近接して、電位感受性媒体を含むセンサ1を配置し、レーザ光源14から電位感受性媒体にレーザ光を照射し、発生するSHG光の強度を光検出器11およびオシロスコープ12で測定して、配線の電位を測定する。
Claim (excerpt)：
半導体回路の配線の電位状態を測定する電位測定方法において、半導体回路表面に、近接して、電圧感受性媒体を含む板状のセンサを配置した状態で、レーザ光をセンサに照射し、センサから発生した第2高調波を分離してその強度を測定することにより、基板上の配線の電位を測定することを特徴とする電位測定方法。
IPC (2)：
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