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J-GLOBAL ID：200903072595074262

放射線感応性樹脂組成物

Inventor： 伊東 敏雄 ,  坂田 美和 ,  小菅 眞樹
Applicant, Patent owner： 沖電気工業株式会社
Agent (1)： 大垣 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992124774
Publication number (International publication number)：1993323611
Application date： May. 18, 1992
Publication date： Dec. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】 放射線に対し高い感度及び解像力を有しかつ優れたO2 -RIE耐性を有する新規な放射線感応性樹脂組成物を提供すること。【構成】 下記(α)式で示されるt-ブチルエステルシロキサン(重量平均分子量137900、比分散1.8 )0.5gと、トリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート50mgと、溶剤としての2-メトキシ酢酸エチル4mlとを混合して放射線感応性樹脂組成物を構成する。【化1】

Claim (excerpt)：

ポリ(シロキサン)であってその側鎖に、炭素基を1つ以上隔てて、酸で切断されるC-O結合を有しているポリ(シロキサン)と、照射される放射線の作用により分解して酸を発生する酸発生剤とを含むことを特徴とする放射線感応性樹脂組成物。

IPC (7)：

G03F 7/075 511 ,  C08L 83/04 LRT ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/038 505 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027