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J-GLOBAL ID：200903072663895326
面発光素子
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993136343
Publication number (International publication number)：1994350191
Application date： Jun. 08, 1993
Publication date： Dec. 22, 1994
Summary：
【要約】【目的】 2次元集積化に適した電力/光変換効率の高い面発光素子を実現する。【構成】 n形GaAs基板10上にn形GaAs/AlAs多層反射膜20、n形GaAs層11、In0 . 2 Ga0 . 8 As活性層12、p形GaAsクラッド層13を順次形成する。p形クラッド層13、活性層12、n形GaAs層11、n形多層反射膜20の一部をエッチングした後、p形GaAs/AlAs多層反射膜21を全面に成長する。絶縁膜22を選択的に形成した後、p形多層反射膜21を覆うようにアノード電極31を形成する。この電極31は金属反射膜としても機能する。ウェハーの一部をエッチングし、n形多層反射膜20上にカソード電極30を形成する。
Claim (excerpt)：
面発光素子の少なくとも活性層を含む側面が多層膜から構成される反射鏡で被覆され、かつ前記反射鏡が金属反射鏡で被覆されていることを特徴とする面発光素子。
Patent cited by the Patent：
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