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J-GLOBAL ID：200903072677477683

マイクロポンプ

Inventor： 河合 高志 ,  宮崎 俊一
Applicant, Patent owner： 横河電機株式会社
Agent (1)： 小沢 信助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991238204
Publication number (International publication number)：1993079459
Application date： Sep. 18, 1991
Publication date： Mar. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ダイアフラム上に渦巻き状に形成した流路3に対して超音波モ-タをリング状に配置して進行波を発生させることにより,端面の反射の影響を除き,効率のよいマイクロポンプを提供する。【構成】 基板上に形成されたリング状のダイアフラム2と,そのダイアフラム2の表面に渦巻き状に形成された流路3と,その流路の端部付近に形成された入出力ポ-ト4a,4bと,前記ダイアフラム2の裏面に接しリング状に配置された超音波振動発生手段を有する。

Claim (excerpt)：

基板上に形成されたリング状のダイアフラムと,該ダイアフラムの表面に渦巻き状に形成された流路と,該流路の端部付近に形成された流入口及び流出口と,前記ダイアフラムの裏面に接しリング状に配置された超音波振動発生手段を有することを特徴とするマイクロポンプ。