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J-GLOBAL ID:200903072684540552
液晶ガラス基板の枚葉管理用ナンバリング方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
,
Agent (1):
須山 佐一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993329175
Publication number (International publication number):1995191292
Application date: Dec. 27, 1993
Publication date: Jul. 28, 1995
Summary:
【要約】【目的】 従来のナンバリング方法おいては、表示部分となるパターン形成のための露光装置とは別に、ナンバリング専用の露光装置を必要とし、各基板毎にナンバリング露光用のマスクを交換する等の作業が必要となる。またナンバーの完成は、ナンバリング露光、パターン露光、エッチングが終ってからであるから、それまでの工程においてはナンバーによる枚葉管理は不可能である。本発明は従来の問題を一掃し得るナンバリング方法を提供する。【構成】 各ガラス基板15毎に識別用の数字、記号等18を付して各ガラス基板毎15に処理条件を管理する枚葉管理において、各ガラス基板15毎の数字、記号等18の形成を液晶表示パネルの製造工程の最初に行う。これにより、ナンバリング工程以下の全工程の枚葉管理が可能となる。
Claim (excerpt):
表面にパターンを担持させた2枚のガラス基板を間隔をおいて対向させ、これらのガラス基板間に液晶を封入してなる液晶表示パネルの製造に際して、各ガラス基板毎に識別用の数字、記号等を付して各ガラス基板毎に処理条件を管理する枚葉管理において、各ガラス基板毎の数字、記号等の形成を液晶表示パネルの製造工程の最初に行うことを特徴とする液晶ガラス基板のナンバリング方法。
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