Pat
J-GLOBAL ID：200903072692970469

光源装置

Inventor：
楠瀬 治彦

About 楠瀬 治彦


Applicant, Patent owner：
レーザーテック株式会社

About レーザーテック株式会社


Agent (1)： 杉村 暁秀 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999099805
Publication number (International publication number)：2000294491
Application date： Apr. 07, 1999
Publication date： Oct. 20, 2000
Summary：
【要約】【課題】 実効パルスレートを一層高くすることができる光源装置を提供する。【解決手段】 本発明による光源装置は、放射光を放出する複数の光源(1a〜1h)と、1個又はそれ以上の反射面(2a)を有し、各光源(1a〜1h)から放出された放射光を前記光源の共通の光路(L)に沿って出射させる回転反射体(2)と、この回転反射体(2)の反射面(2a)の位置を検出する位置検出装置(5)と、位置検出装置からの出力信号に基き、前記複数の光源を回転反射体の位置に同期して駆動させるための同期信号を発生するタイミング制御回路(6)と、タイミング制御回路からの出力信号に基づき、前記光源を順次パルス駆動させる電源回路(7)とを具えることを特徴とする
Claim (excerpt)：
光を放出する複数の光源と、1個又はそれ以上の反射面を有し、各光源から放出された光を前記光源の共通の光路に沿って出射させる回転反射体と、この回転反射体の反射面の位置を検出する位置検出装置と、位置検出装置からの出力信号に基き、前記複数の光源を回転反射体の位置に同期して駆動させるための同期信号を発生するタイミング制御回路と、タイミング制御回路からの出力信号に基づき、前記光源を順次パルス駆動させる電源回路とを具えることを特徴とする光源装置。
IPC (2)：
H01L 21/027 ,  H01S 3/00
FI (3)：
H01L 21/30 527 ,  H01S 3/00 A ,  H01L 21/30 515 B
F-Term (17)：
5F046BA05 ,  5F046CA02 ,  5F046CA04 ,  5F046CA10 ,  5F046CB10 ,  5F046CB22 ,  5F046CB27 ,  5F072AA06 ,  5F072AB02 ,  5F072GG05 ,  5F072JJ07 ,  5F072KK05 ,  5F072KK15 ,  5F072MM14 ,  5F072RR05 ,  5F072RR07 ,  5F072YY09
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)
  • レーザー装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-018929   Applicant：株式会社東芝
  • 特表昭62-502228

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM