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J-GLOBAL ID：200903072740239518

微細構造体製作用の方法及び同製作用のモ-ルド

Inventor： ゼナン バオ ,  ジョン エー.ロジャース
Applicant, Patent owner： ルーセント テクノロジーズ インコーポレイテッド
Agent (1)： 三俣 弘文
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999083888
Publication number (International publication number)：1999330004
Application date： Mar. 26, 1999
Publication date： Nov. 30, 1999
Summary：

【要約】【課題】 微細構造体製作方法及び同用のモールドの改良。【解決手段】 第1及び第2の表面12、14を有するエラストマ性のモールド10の第1の表面12が少なくとも1個の凹状の微細溝部16を有し、第2の表面14が、モールド10を通して第1の表面12に延び微細溝部16に通じるアクセス開口部20を有する。用意した基板上に、微細溝部16が基板に面するようにモールド10を載置する。モールド10のアクセス開口部20に、蒸発性溶媒と形成材料とからなる溶液を充填し、アクセス開口部20が溶液を微細溝部16と基板との間に定まる空間内に連続的に導入し、溶媒が蒸発した後に基板からモールド10を除去し、それにより溶媒蒸発後の形成材料から形成された、微細溝部16によって定められる形状及び寸法を有する微細構造体を基板上に残す。

Claim (excerpt)：

微細構造体製作方法であって、(a)該微細構造体を支持するための基板を用意するステップと;(b)第1及び第2の表面を有するエラストマ性のモールドであって、該第1の表面が少なくとも1個の凹状の微細溝部を有し、該第2の表面が、該モールドを通して該第1の表面に延び該微細溝部に通じるモールド充填部材を有するモールド、を用意するステップと;(c)該微細溝部が前記基板に面するように該モールドを該基板上に載置するステップと;(d)該モールドの該モールド充填部材に、蒸発性溶媒と形成物質とからなる溶液を充填し、該溶液中の該溶媒が蒸発する間に該モールド充填部材が該溶液を該微細溝部内に連続的に導入するステップと;(e)該溶液中の該溶媒が蒸発した後に該基板から該モールドを除去し、それにより、該溶媒蒸発後の該形成物質から形成された、該微細溝部によって定められる形状及び寸法を有する微細構造体を該基板上に残すステップと;からなることを特徴とする、微細構造体製作方法。

IPC (3)：

H01L 21/283 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (2)：

H01L 21/283 A ,  H01L 29/78 627 C