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J-GLOBAL ID：200903072790134377

荷電粒子ビーム装置

Inventor： 梅村 馨
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995015699
Publication number (International publication number)：1996212950
Application date： Feb. 02, 1995
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 荷電粒子源から放出した荷電粒子ビームの、荷電粒子ビーム光学中心への軸合わせが迅速に行なえる荷電粒子ビーム装置を提供する。【構成】 荷電粒子ビームのクロスオーバ地点にアパチャ7,13を有する荷電粒子ビーム装置1において、アパチャ直下に可動式の電流検出器18,18′を配置する。【効果】 荷電粒子源から放出した荷電粒子ビームを、荷電粒子ビーム光学中心への軸合わせが迅速に行なえる。

Claim (excerpt)：

荷電粒子ビームのクロスオーバ地点にアパチャを有する荷電粒子ビーム装置において、上記アパチャ直下に可動式の電流検出器を配したことを特徴とする荷電粒子ビーム装置。

IPC (6)：

H01J 37/04 ,  C23C 14/48 ,  H01J 37/317 ,  H01L 21/265 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/3065

FI (3)：

H01L 21/265 D ,  H01L 21/30 541 E ,  H01L 21/302 D