Pat
J-GLOBAL ID:200903072803498292

非蒸発型ゲッター

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995034218
Publication number (International publication number):1996196899
Application date: Jan. 30, 1995
Publication date: Aug. 06, 1996
Summary:
【要約】【目的】ゲッターの活性化温度を低くすることができ、活性化工程におけるエネルギー損失を低減でき、しかも真空層構成材の特性劣化が生じ難い非蒸発型ゲッターを提供する。【構成】チタン粉末(Ti)に、酸化チタン粉末(TiO2)、過酸化バリウム粉末(BaO2)のような酸化反応剤を、ヒーター加熱により所定の酸化反応熱が発生する適宜比率で混合し、所定形状に加圧成形してペレット化する。各粉末の混合比率(重量比率)をTi:TiO2:BaO2=100:2:5.5とする。銀粉末(Ag)のような熱良導体粉末をチタン粉末(Ti)に対して3〜5%(重量%)混入する。
Claim (excerpt):
チタン粉末(Ti)に、酸化チタン粉末(TiO2)、過酸化バリウム粉末(BaO2)のような酸化反応剤を、ヒーター加熱により所定の酸化反応熱が発生する適宜比率で混合し、所定形状に加圧成形してペレット化したことを特徴とする非蒸発型ゲッター。
IPC (2):
B01J 20/02 ,  A47J 41/02 102

Return to Previous Page