感光性樹脂組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：津国肇 , 篠田文雄 , 束田幸四郎
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2003515915
Publication number (International publication number)：2004536352
Application date： Jul. 18, 2002
Publication date： Dec. 02, 2004
Summary：

(A)分子内に少なくとも1個のカルボン酸基を含み、かつ200,000以下の分子量を有する、オリゴマー又はポリマー;(B)式(I)[式中、R1は、直鎖又は分岐のC1-C12アルキルであり;R2は、直鎖又は分岐のC1-C4アルキルであり;R3及びR4は、相互に独立に、直鎖又は分岐のC1-C8アルキルである]で示される少なくとも1つの光開始剤化合物;及び(C)少なくとも1個のオレフィン二重結合を有する、モノマー、オリゴマー又はポリマー化合物を含むことを特徴とする感光性組成物は、フォトレジスト、具体的にはカラーフィルターを製造するのに特に適している。

Claim (excerpt)：

(A)分子内に少なくとも1個のカルボン酸基を含み、かつ200,000以下の分子量を有する、オリゴマー又はポリマー; (B)式(I):

IPC (6)：

G03F7/031 , G02B5/20 , G03F7/004 , H01L21/027 , H05B33/10 , H05B33/14

FI (7)：

G03F7/031 , G02B5/20 101 , G03F7/004 501 , G03F7/004 502 , H05B33/10 , H05B33/14 A , H01L21/30 502R

F-Term (34)：

2H025AA01 , 2H025AA04 , 2H025AA11 , 2H025AB03 , 2H025AB13 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB20 , 2H025AC01 , 2H025AC05 , 2H025AC06 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025BC85 , 2H025BC92 , 2H025CA03 , 2H025CA09 , 2H025CA11 , 2H025CA20 , 2H025CA28 , 2H025CB30 , 2H025CC01 , 2H025CC02 , 2H025CC17 , 2H025CC20 , 2H048BA45 , 2H048BA47 , 2H048BB02 , 2H048BB42 , 3K007AB18 , 3K007DB00 , 3K007DB03 , 3K007FA00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平4-164901
特開昭63-264560
密度の異なる燐光体を使用する改善された放射線医学システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-333930 Applicant：イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー

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