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J-GLOBAL ID：200903072835746263

低抵抗透明導電膜

Inventor： 茶原 健一 ,  大野 俊之 ,  小園 裕三
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 鵜沼 辰之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994076888
Publication number (International publication number)：1995278791
Application date： Apr. 15, 1994
Publication date： Oct. 24, 1995
Summary：

【要約】【目的】 可視光域での透過率を損なわずに低抵抗の透明導電膜を提供することにある。【構成】 透明導電膜に添加金属元素として Re, Os, Mo, W の少なくとも1つを添加した低抵抗透明導電膜。上記低抵抗透明導電膜を用いた液晶表示装置。上記低抵抗透明導電膜を用いた太陽電池。【効果】 可視光域での透過率を損なわずに、透明導電膜の比抵抗は低下する。このような低抵抗透明導電膜を電極として用いれば、高精細、低消費電力の液晶表示装置、あるいは高起電力の太陽電池を提供できる。

Claim (excerpt)：

1種類以上のカチオン及び酸素からなる透明導電膜に、比抵抗が少なくとも1×10~4Ωcm以下である酸化物を添加したことを特徴とする低抵抗透明導電膜。

IPC (6)：

C23C 14/08 ,  C03C 17/22 ,  G02F 1/1343 ,  H01B 5/14 ,  H01L 29/40 ,  H01L 31/04