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J-GLOBAL ID：200903072864651212

圧電多チャンネルポンプ及び駆動制御方法

Inventor： 小島 ▲吉▼夫 ,  坪内 邦良 ,  奥沢 務 ,  高木 勇輔
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992292412
Publication number (International publication number)：1994147104
Application date： Oct. 30, 1992
Publication date： May. 27, 1994
Summary：

【要約】【構成】これまで圧電素子1を取付けポンプ室11として利用していた最終段のポンプ室11′を、圧力を調整するための調圧室30として利用し、又、各チャンネル間をフッ素樹脂製の薄膜2で仕切るように構成した。このように構成した多チャンネルポンプ10をコントローラ4(図示せず)駆動させると、あるチャンネルの圧力が隣接するチャンネルの圧力と異なっている場合、薄膜2は両チャンネル間の圧力差で弾性変形を生じ、両チャンネルの圧力が同一となるような位置へ移動する。【効果】各チャンネル毎の流量分配性能が、ほぼ同一レベルに平滑化され、良好な流量特性をもつ多チャンネルポンプを実現することができる。

Claim (excerpt)：

圧電素子と、前記圧電素子を駆動制御するコントローラとを備え、複数個の吐出口を有する多チャンネルポンプにおいて、前記圧電素子により駆動エネルギを与えた液体を、駆動エネルギを与えない調圧室に収納し、隣接するチャンネル間を弾性変形可能な薄膜ないし可動部品で仕切るように構成したことを特徴とする圧電多チャンネルポンプ。