Pat

J-GLOBAL ID：200903072867258635

硫酸の再生利用方法

Inventor： 爾見 聡 ,  佐藤 仁
Applicant, Patent owner： クロリンエンジニアズ株式会社
Agent (1)： 米澤 明 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992335879
Publication number (International publication number)：1994183704
Application date： Dec. 16, 1992
Publication date： Jul. 05, 1994
Summary：

【要約】【目的】 半導体装置の製造工程等で硫酸を循環利用し、廃棄する硫酸の量を減少させる。【構成】 硫酸使用工程から排出される排硫酸を少なくとも1枚の陽イオン交換膜で区画した硫酸濃縮電解槽の陽極室に供給し、硫酸の濃縮とともに酸化性物質を生成して、硫酸の使用工程において再使用するとともに、系内において蓄積した不純物の濃度が一定の水準以上となった場合には、系内の硫酸の一部を硫酸精製装置に供給して硫酸を精製し、精製した硫酸を系内に供給し硫酸を循環する硫酸の再生利用方法。【効果】 硫酸を再生利用するとともに、硫酸中に過酸化水素などの酸化性物質を添加することなく酸化能力の大きな硫酸を得ることができる。

Claim (excerpt)：

硫酸の再生利用方法において、排硫酸を少なくとも1枚の陽イオン交換膜で区画した硫酸濃縮電解槽の陽極室に供給し、硫酸の濃縮とともに酸化性物質を生成して、硫酸の使用工程において再使用するとともに、系内において蓄積した不純物の濃度が一定の水準以上となった場合には、系内の硫酸の一部を硫酸精製装置に供給して硫酸を精製し、精製した硫酸を系内に供給することを特徴とする硫酸の再生利用方法。