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J-GLOBAL ID：200903072887760540

酸分解性化合物及びそれを含有するポジ型感放射線性レジスト組成物

Inventor： 小柳 敬夫 ,  梅田 真一 ,  北折 智之 ,  福永 誠規 ,  長澤 孝太郎
Applicant, Patent owner： 日本化薬株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991150945
Publication number (International publication number)：1994043630
Application date： May. 28, 1991
Publication date： Feb. 18, 1994
Summary：

【要約】【構成】アルカリ可溶性樹脂、放射線照射により酸を発生する化合物及び発生した酸により分解する下記式【化1】(式においてR1 〜R4 は水素原子又は炭素数1〜5のアルキル基を示す。)の酸分解性化合物を含有するポジ型感放射線性レジスト組成物を溶媒に溶解して感光液とする。この感光液をシリコンウェハーもしくはクロム蒸着板のような基板上に塗布し、次に70から120°Cの温度でベークすることにより乾燥させた後、遠紫外線、電子線等の放射線を照射し、更に70から130°Cの温度で加熱し、次いでアルカリ水溶液で現像処理することにより転写パタ-ンを得る。【効果】本発明のポジ型感放射線性レジスト組成物は、放射線に対する感度が高く、転写されたパターンは、膨潤がなく解像度に極めて優れ、さらにドライエッチング耐性及び耐熱性等にも優れている。

Claim (excerpt)：

式(1)【化1】(式(1)中、R1 、R2 、R3 、R4 はそれぞれ独立に水素原子又は炭素数1から5のアルキル基を示す。)で示される酸分解性化合物。

IPC (4)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027