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J-GLOBAL ID：200903072903848436

固体撮像装置およびその製造方法

Inventor： 折田 賢児 ,  瀧川 信一
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 新居 広守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003192175
Publication number (International publication number)：2005026567
Application date： Jul. 04, 2003
Publication date： Jan. 27, 2005
Summary：

【課題】低損失で集光効率の高い小型の固体撮像装置を提供する。【解決手段】低屈折率材料1と高屈折率材料2とを交互に積層した屈折率周期構造と、面内方向に同心的な相似形状(円または多角形)の屈折率周期構造とを有するフォトニック結晶を、各光電変換素子上に配置した固体撮像装置11a、11bおよび11cを構成する。本フォトニック結晶のみで、RGBの色分離と集光とを同時に行うことができる。また、本フォトニック結晶は、積層方向の屈折率周期構造を有する多層膜に対して、リソグラフィとエッチングにより面内方向の同心的な相似形状の空洞を設ける方法、または、面内方向の同心的な相似形状を形成したベース上に、自己クローニングにより面内方向と積層方向の屈折率周期構造を設ける方法で製造することができる。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

半導体基板上に形成された複数の光電変換素子と、前記光電変換素子上に形成された光学素子とを有する固体撮像装置であって、 前記光学素子は、積層方向の屈折率周期構造と、面内方向の同心的な相似形状の屈折率周期構造とを有するフォトニック結晶により形成されていることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (7)：

H01L27/14 ,  G02B1/02 ,  G02B5/18 ,  G02B5/28 ,  G02B6/12 ,  H01L31/02 ,  H04N5/335

FI (8)：

H01L27/14 D ,  G02B1/02 ,  G02B5/18 ,  G02B5/28 ,  H04N5/335 U ,  H01L31/02 A ,  G02B6/12 Z ,  G02B6/12 N

F-Term (38)：

2H047KA01 ,  2H047MA07 ,  2H047PA21 ,  2H047PA24 ,  2H047TA00 ,  2H047TA43 ,  2H048GA03 ,  2H048GA13 ,  2H048GA23 ,  2H048GA30 ,  2H048GA33 ,  2H048GA61 ,  2H049AA03 ,  2H049AA04 ,  2H049AA42 ,  2H049AA50 ,  4M118CA01 ,  4M118CA32 ,  4M118GA09 ,  4M118GB03 ,  4M118GC07 ,  4M118GC08 ,  4M118GD04 ,  4M118GD06 ,  4M118GD10 ,  4M118GD11 ,  4M118GD20 ,  5C024CX41 ,  5C024DX01 ,  5C024EX42 ,  5C024GX01 ,  5F088BA01 ,  5F088BB03 ,  5F088CB20 ,  5F088DA01 ,  5F088EA04 ,  5F088EA20 ,  5F088HA20