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J-GLOBAL ID：200903072938076681
原子間力顕微鏡用カンチレバーの製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992014264
Publication number (International publication number)：1993203444
Application date： Jan. 29, 1992
Publication date： Aug. 10, 1993
Summary：
【要約】【目的】 原子間力顕微鏡として、その表面解析力の向上及びカンチレバーの長寿命化を目的とし、これの好適な製造方法を提供する。【構成】 原子間力顕微鏡用カンチレバーとして、その先端にダイヤモンドを有するカンチレバーの製造方法。
Claim (excerpt)：
シリコンウエハの前面にフォトレジストを形成する工程と、該フォトレジストをパターニングする工程と、該パターニングしたフォトレジストをマスクとして前記シリコンウエハをエッチングする工程と、エッチング終了後に前記フォトレジストを剥離する工程と、前記シリコンウエハのエッチング対向面に傷入れを行う工程と、該傷入れ部に探針となるダイヤモンドを成長させる工程と、該ダイヤモンド成長後前記シリコンウエハ表面に酸化膜を形成する工程と、該酸化膜表面に窒化膜を形成する工程と、前記ダイヤモンド探針部及びシリコンウエハ裏面の窒化膜を取り除くエッチングのためのフォトレジストパターニングマスクを形成する工程と、該フォトレジストパターニングマスクを除去する工程と、前記シリコンウエハのダイヤモンド探針形成側の酸化膜が露出するまで前記シリコンウエハのエッチング部をさらにエッチングする工程とエッチング終了後に、前記シリコンウエハのエッチング部に金属薄膜を形成する工程とからなる原子間力顕微鏡用カンチレバーの製造方法。
IPC (3)：
G01B 21/30
, H01J 9/14
, H01J 37/28
