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J-GLOBAL ID：200903072939221286

洗浄装置

Inventor： 大友 政弘 ,  青木 豊幸
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 樺澤 襄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993182790
Publication number (International publication number)：1995031941
Application date： Jul. 23, 1993
Publication date： Feb. 03, 1995
Summary：

【要約】【目的】 洗浄、濯ぎ、乾燥の一連の工程を経て、洗浄物の洗浄を効率的に行なえる洗浄装置を提供する。【構成】 流体流通性を有する洗浄バレル11を用い、洗浄バレル11内に洗浄物を収納する。洗浄バレル11内の洗浄物を、少なくとも洗浄槽41および濯ぎ槽43を経て洗浄する洗浄処理部34を設ける。洗浄バレル11内の洗浄物を、洗浄後に乾燥する乾燥処理部35を設ける。洗浄処理部34および乾燥処理部35に、洗浄バレル11を順次搬送するバレル搬送手段71を設ける。洗浄処理部34および乾燥処理部35に、処理中の洗浄バレル11を回転させるバレル駆動手段51を設ける。

Claim (excerpt)：

洗浄物を流体流通性を有する洗浄バレル内に収納して洗浄物の洗浄を行なう洗浄装置において、前記洗浄バレル内の洗浄物を少なくとも洗浄槽および濯ぎ槽を経て洗浄する洗浄処理部と、前記洗浄バレル内の洗浄物を洗浄後に乾燥する乾燥処理部と、前記洗浄処理部および乾燥処理部に前記洗浄バレルを順次搬送するバレル搬送手段と、前記洗浄処理部および乾燥処理部で処理を受ける前記洗浄バレルを回転させるバレル駆動手段とを備えることを特徴とする洗浄装置。

IPC (2)：

B08B 3/06 ,  H01L 21/304 351