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J-GLOBAL ID：200903072946892218

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 山近 幹雄 ,  村田 誠 ,  辻 昭
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992340980
Publication number (International publication number)：1994167810
Application date： Nov. 30, 1992
Publication date： Jun. 14, 1994
Summary：

【要約】【目的】 現像性、接着性、耐熱性、耐ドライエッチング性等に優れるとともに、高感度であり、優れた矩形形状のパターンプロフィルに解像することができるレジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 (イ)下記式(1)で表される有機基を側鎖に有する重合体および(ロ)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】(ここで、t-Buはt-ブチル基を示し、nは1〜5の整数である。)

Claim (excerpt)：

(イ)下記式(1)で表される有機基を側鎖に有する重合体および(ロ)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】(ここで、t-Buはt-ブチル基を示し、nは1〜5の整数である。)

IPC (5)：

G03F 7/038 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027