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J-GLOBAL ID：200903072947022080

塗布装置および方法並びにプラズマディスプレイおよびディスプレイ用部材の製造装置および方法

Inventor：
北村 義之

About 北村 義之

, 
谷 義則

About 谷 義則

, 
佐久間 勇

About 佐久間 勇


Applicant, Patent owner：
東レ株式会社

About 東レ株式会社


Agent (1)： 伴 俊光
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999174490
Publication number (International publication number)：2001000904
Application date： Jun. 21, 1999
Publication date： Jan. 09, 2001
Summary：
【要約】【課題】 吸着固定したガラス基板に対して、ダイが移動して塗布を行う形式のダイコータの場合に、塗布液供給手段とダイを連結する配管の移動が容易で、さらに配管の移動による塗布精度の低下をもたらさないようにすることが可能な塗布装置および塗布方法、並びにこれらの塗布装置および方法を用いたプラズマディスプレイおよびディスプレイ用部材の製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】 塗布液を供給する塗布液供給手段と、前記塗布液供給手段から供給された塗布液を被塗布部材に吐出する吐出口を有する塗布器と、該塗布器を移動させて前記被塗布部材上に塗膜を形成するための塗布器移動手段とを備えた塗布装置であって、前記塗布液供給手段は塗布器と同時に移動する塗布液供給手段移動手段上に設置されていることを特徴とする塗布装置、および塗布方法、並びにそれらを用いたプラズマディスプレイおよびディスプレイ用部材の製造装置および製造方法を提供する。
Claim (excerpt)：
塗布液を供給する塗布液供給手段と、前記塗布液供給手段から供給された塗布液を被塗布部材に吐出する吐出口を有する塗布器と、該塗布器を移動させて前記被塗布部材上に塗膜を形成するための塗布器移動手段とを備えた塗布装置であって、前記塗布液供給手段は塗布器と同時に移動する塗布液供給手段移動手段上に設置されていることを特徴とする塗布装置。
IPC (7)：
B05C 5/00 101 ,  B05D 1/26 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/16 501 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02 ,  H01L 21/027
FI (7)：
B05C 5/00 101 ,  B05D 1/26 Z ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/16 501 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B ,  H01L 21/30 564 Z
F-Term (29)：
2H025AA00 ,  2H025AB17 ,  2H025EA04 ,  2H048AA09 ,  4D075AC02 ,  4D075AC84 ,  4D075AC86 ,  4D075BB65Z ,  4D075CA47 ,  4D075DA06 ,  4D075DB14 ,  4D075DC22 ,  4D075EA05 ,  4F041AA06 ,  4F041AB01 ,  4F041BA05 ,  4F041BA31 ,  4F041BA60 ,  5C027AA09 ,  5C040GF19 ,  5C040JA02 ,  5C040JA23 ,  5C040JA31 ,  5C040KA16 ,  5C040MA24 ,  5C040MA25 ,  5C040MA26 ,  5F046JA01 ,  5F046JA02
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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