Pat
J-GLOBAL ID：200903072974168746
銅エッチング剤溶液添加物
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
湯浅 恭三 (外6名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1995508767
Publication number (International publication number)：1997502483
Application date： Sep. 08, 1994
Publication date： Mar. 11, 1997
Summary：
【要約】水性アルカリ性アンモニア性塩化第二銅系エッチング浴(12)と共に使用する銅エッチング剤溶液添加物(18)には幾つかの化合物が含まれ、それらはそれぞれ銅(I)状態を安定化することが示される。本発明者らが見出した化合物には、ヨウ化物イオン、たとえばヨウ化カリウム、ヨウ化アンモニウム、ヨウ化ナトリウム、ヨウ化カルシウムおよびヨウ化マグネシウムが含まれる。本発明者らが見出した他の銅(I)安定剤には、イオウを含有する特定の水溶性塩類、たとえばチオシアネートイオン(たとえばチオシアン酸アンモニウム、チオシアン酸カリウム、チオシアン酸ナトリウム、チオシアン酸マグネシウムおよびチオシアン酸カルシウム)、およびチオスルフェートイオン(たとえばチオ硫酸アンモニウム、チオ硫酸カリウム、チオ硫酸ナトリウム、チオ硫酸マグネシウムおよびチオ硫酸カルシウム)が含まれる。種々の濃度のヨウ化カリウム、チオシアン酸アンモニウムおよびチオ硫酸ナトリウムを含有するアルカリ性アンモニア性塩化第二銅についてのエッチング速度を調べた。管理された実験の結果、これらのうちいずれかの化合物を最高約1200mg/Lの濃度でアルカリ性アンモニア性塩化第二銅系エッチング剤に添加するとエッチング速度が20-130%増大することが明らかになった。
Claim (excerpt)：
銅(I)安定剤よりなる群から選ばれるエッチング促進用添加物を含有し、該添加物が添加物を含有しない同じエッチング浴より少なくとも40%、浴のエッチング速度を増大させるのに十分な量で存在する、水性アルカリ性アンモニア性塩化第二銅系エッチング浴。
IPC (2)：
FI (2)：
Return to Previous Page
