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J-GLOBAL ID：200903073090570326
力学量センサ、及び、力学量センサの製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
三品 岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996043016
Publication number (International publication number)：1997236615
Application date： Feb. 29, 1996
Publication date： Sep. 09, 1997
Summary：
【要約】【課題】センサの構造を複雑にすることなく、重錘体の動きを確実に制限できる力学量センサ、及び、力学量センサの製造方法を提供する。【解決手段】作用部14、作用部14の周囲に形成された可撓部13、及び、可撓部13の周囲に形成された固定部15を有する検出体と、作用部14の下面に接合された重錘体22と、重錘体22を隙間をあけて囲む、固定部15の下面に接合された支持体21とを有し、可撓部13には、該可撓部13の撓み量に応じて電気抵抗が変化する抵抗部11が形成されている。重錘体22の下端部には、支持体21に向かって突出した突縁部22aが形成され、支持体21の、突縁部22aを囲む部分には、突縁部22aの突出方向に広がった開口部21aが形成され、突縁部22aの突出方向の長さは、突縁部22aが形成されていない重錘体22の側面と、開口部21aが形成されていない支持体21の内側側面との間隔と略同一である。
Claim (excerpt)：
作用部と、該作用部の周囲に形成された可撓部と、該可撓部の周囲に形成された固定部を有する検出体と、前記作用部の下面に接合された重錘体と、前記重錘体を隙間をあけて囲む、前記固定部の下面に接合された支持体とを有し、前記可撓部に、該可撓部の撓み量に応じて電気抵抗が変化する抵抗部が形成された力学量センサにおいて、前記重錘体の下端部には、前記支持体に向かって突出した突縁部が形成され、前記支持体の、前記突縁部を囲む部分には、前記突縁部の突出方向に広がった開口部が形成され、前記突縁部の突出方向の長さは、前記突縁部が形成されていない前記重錘体の側面と、前記開口部が形成されていない前記支持体の内側側面との間隔と略同一、もしくは、該間隔よりも長いことを特徴とする力学量センサ。
IPC (2)：
FI (2)：
G01P 15/12
, H01L 29/84 B
