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J-GLOBAL ID：200903073111204104
エアースライド装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高田 武志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999166074
Publication number (International publication number)：2000352421
Application date： Jun. 11, 1999
Publication date： Dec. 19, 2000
Summary：
【要約】【課題】 高圧気体の噴出を可動テーブル側から行う場合における問題を回避できる上に、供給される高圧気体の利用効率を低下させることがないエアースライド装置を提供する。【解決手段】 エアースライド装置1は、可動テーブル2と、可動テーブル2との間の隙間3に気体膜を形成して、可動テーブル2のH方向の直動を案内するレール手段4と、レール手段4に対する可動テーブル2の移動位置を検出する検出手段5とを具備している。
Claim (excerpt)：
可動テーブルと、この可動テーブルとの間の隙間に気体膜を形成して、可動テーブルの直動を案内するレール手段と、このレール手段に対する可動テーブルの移動位置を検出する検出手段とを具備しており、レール手段は、供給された高圧空気を噴出する多孔体と、可動テーブルの移動領域全体に亘って形成されており、可動テーブルの移動方向に関して互いに独立に多孔体に高圧空気を供給する複数の通路手段と、検出手段からの検出信号に基づいて複数の通路手段のうちの少なくとも一つの通路手段に高圧気体を選択的に供給する高圧気体供給手段とを具備したエアースライド装置。
F-Term (15)：
3J102AA02
, 3J102BA07
, 3J102CA36
, 3J102EA02
, 3J102EA06
, 3J102EA11
, 3J102EA18
, 3J102EB03
, 3J102FA01
, 3J102FA02
, 3J102FA03
, 3J102FA06
, 3J102FA08
, 3J102FA09
, 3J102GA01
Cited by examiner (6)
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