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J-GLOBAL ID：200903073143166212

可視光硬化型レジストの形成方法

Inventor： 柳ケ瀬 昭 ,  藤原 匡之
Applicant, Patent owner： 三菱レイヨン株式会社
Agent (1)： 吉沢 敏夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994075442
Publication number (International publication number)：1995261407
Application date： Mar. 23, 1994
Publication date： Oct. 13, 1995
Summary：

【要約】【目的】 可視光硬化型レジストの形成方法を開発する。【構成】 バインダー用熱可塑性重合体(A)と、1分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する少なくとも1種の架橋性単量体(B)と、光重合開始剤(C)とから構成され、可視光硬化型組成物を基板に積層し、可視光を照射して所望のパターンを得る際に、可視光照射後24時間以内に40°C以上の温度で30〜60分間の加熱処理を行う、可視光硬化型レジストの形成方法。【効果】 可視光レーザーを用いて直接描画する場合に高速で走査露光してもファインなパターンが得られる。

Claim (excerpt)：

バインダー用熱可塑性重合体(A)と、1分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する少なくとも1種の架橋性単量体(B)と、光重合開始剤(C)とから構成される可視光硬化型組成物を基板に積層し、可視光を照射して所望のパターンを得る際に、可視光照射後24時間以内に40°C以上の温度で30〜60分間の加熱処理を行うことを特徴とする可視光硬化型レジストの形成方法。

IPC (10)：

G03F 7/38 511 ,  C08F 2/44 MCS ,  C08F 2/48 MDH ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18 ,  H05K 3/28