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J-GLOBAL ID：200903073165257696
液晶表示素子用透明電導ガラスの製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大野 精市
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992114435
Publication number (International publication number)：1993313111
Application date： May. 07, 1992
Publication date： Nov. 26, 1993
Summary：
【要約】【目的】液晶表示素子用の透明電導ガラスをインラインスパッタリング装置を用いて能率よく製造する方法を提供する。【構成】第1の被覆室と加熱室と第2の被覆室とがこの順で接続されたインライン型スパッタリング装置を用いて、第1の被覆室でガラス板の温度を200°C以下にして二酸化珪素膜をからなるアルカリ溶出防止膜を被覆し、次に加熱室で二酸化珪素膜を300°C以上に加熱して緻密化し、必要により緻密化と同時にガラス基板の熱収縮処理を行い、つぎに第2の被覆室で300°C以上にガラス板を加熱した状態でITO膜を被覆する透明電導ガラスの製造方法。
Claim (excerpt)：
減圧した雰囲気が調節可能な第1の被覆室と前記第1の被覆室とは開閉可能なゲートバルブで接続され減圧した雰囲気が調節可能な加熱室と前記加熱室とは開閉可能なゲートバルブで接続され減圧した雰囲気が調節可能な第2の被覆室とを少なくとも有するインライン型スパッタリング装置を用いて、ガラス基板上にアルカリ溶出防止膜および透明電導膜が順次被覆された透明電導ガラスを製造する方法であって、a)前記第1の被覆室では、前記ガラス基板の温度を200°C以下とした状態で透明金属酸化物または透明金属窒化物からなるアルカリ溶出防止膜をスパッタリングにより被覆すること、b)前記加熱室では、被覆された前記アルカリ溶出防止膜を300°C以上に加熱することにより緻密化すること、c)前記第2の被覆室では、前記アルカリ溶出防止膜が被覆されたガラス基板を300°C以上に加熱した状態で透明電導膜を被覆すること、を連続して行う液晶表示素子用透明電導ガラスの製造方法。
IPC (2)：
G02F 1/13 101
, C03C 17/34
