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J-GLOBAL ID：200903073169781080

走査電子顕微鏡

Inventor： 兼岡 則幸 ,  影山 甲子男 ,  毛利 淳 ,  高田 順次
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 平木 祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995083963
Publication number (International publication number)：1996287860
Application date： Apr. 10, 1995
Publication date： Nov. 01, 1996
Summary：

【要約】【目的】 パソコンのウィンドウシステムを用いた操作画面からの操作においても快適な応答速度と操作性が得られる走査電子顕微鏡を提供する。【構成】 入力制御手段21は、キーボード18、マウス19等の入力手段の操作信号をパソコン16とSEM制御手段14に分配して与える。電子レンズ2のフォーカス調整などの応答性が重要となる処理の際には、操作信号を入力制御手段21又はSEM制御手段14中に設けられた制御信号変換回路で制御コマンドに変換してSEM制御手段14に与える。【効果】 高速な応答が要求される処理の制御コマンドは、パソコンをバイパスしてSEM制御手段に与えられるため、処理時間が短くなり、操作から制御までの応答速度が向上する。

Claim (excerpt)：

電子銃と、電子銃から放出された電子線を収束する電子レンズと、収束された電子線を試料上に二次元走査する偏向器と、試料から発生する二次粒子を検出する二次粒子検出器と、二次粒子検出器の検出信号をディジタルの画像データに変換するA/D変換器と、画像データを記憶する画像メモリと、制御信号を受けて前記各要素を制御するSEM制御手段とを含む走査電子顕微鏡において、入力手段と、コンピュータと、コンピュータに接続された表示装置と、SEM操作画面データを記憶したメモリと、入力手段の操作信号を制御信号に変換する制御信号変換手段と、入力手段の操作信号をコンピュータと制御信号変換手段に入力する入力制御手段とを備え、コンピュータによって前記表示装置に表示されたSEM操作画面を前記入力手段で操作することによってSEM制御手段に制御信号が与えられ、前記制御信号に従ったSEM制御手段による前記各要素の制御とコンピュータによる操作画面の処理とが同時に実行されることを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (3)：

H01J 37/21 ,  H01J 37/15 ,  H01J 37/22 502

FI (3)：

H01J 37/21 B ,  H01J 37/15 ,  H01J 37/22 502 H