Pat

J-GLOBAL ID：200903073201486460

半導体装置の製造装置

Inventor： 笹原 勝之
Applicant, Patent owner： 九州日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992058689
Publication number (International publication number)：1993267181
Application date： Mar. 17, 1992
Publication date： Oct. 15, 1993
Summary：

【要約】【目的】排気系を有し排気するガスの種類濃度に応じて排気系を切り換える必要のある半導体装置の製造装置において、排気系の詰まりを防止する。【構成】排気ガスの種類や濃度等を色別するセンサー4を用ちその出力によりそれに対応した排気系統に自動的に切り換える。

Claim (excerpt)：

排気系を有し、排気するガスの種類・濃度に応じて排気系を切り換える必要のある半導体装置の製造装置において、排気ガスの種類・濃度等を識別するセンサーを備え、該センサーからの情報によりそれに対応した排気系統に自動的に切り換える事を特徴とする半導体装置の製造装置。

IPC (2)：

H01L 21/205 ,  C30B 25/14