誘電体バリヤ放電ランプを使用した処理方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993023535
Publication number (International publication number)：1994210286
Application date： Jan. 20, 1993
Publication date： Aug. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】各種の処理を高品位で行い、かつ、高速度であるいは高効率で行うことが出来る誘電体バリヤ放電ランプを利用した処理方法を提供することである。【構成】被処理物と処理用流体を接触させた状態において、波長の異なる光を放射する少なくとも2種類以上の光源によって該被処理物と処理用流体を同時に照射して該処理物を処理する処理方法において、該光源の少なくとも1種を誘電体バリヤ放電ランプにした事を特徴とする誘電体バリヤ放電ランプを使用した処理方法を使用する。また、該光源の少なくとも1種を該被処理物と処理用流体を収納している処理室内に設けたことにより、特に、該処理室内に設ける光源を誘電体バリヤ放電ランプにする。

Claim (excerpt)：

被処理物と処理用流体を接触させた状態において、波長の異なる光を放射する少なくとも2種類以上の光源によって該被処理物と処理用流体を同時に照射して該被処理物を処理する処理方法において、該光源の少なくとも1種類を誘電体バリヤ放電ランプにした事を特徴とする誘電体バリヤ放電ランプを使用した処理方法。

IPC (2)：

C02F 1/30 ZAB , B01D 53/32 ZAB

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

特開昭62-007122

Cited by examiner (16)

特開昭62-007122
特開昭62-007122
特開平3-211283

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