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J-GLOBAL ID：200903073246996051
共焦点画像形成システム、ならびに物体の検査及び/又は画像形成の方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
頓宮 孝一 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993058254
Publication number (International publication number)：1994094641
Application date： Mar. 18, 1993
Publication date： Apr. 08, 1994
Summary：
【要約】【目的】 一つの直線的走査で物体の画像形成及び/又は検査用の完全な画像を提供するのに充分なデータを得る。【構成】 ステージ120は物体112を経路に沿って搬送する。イルミネータからの放射線は、光源マスク104のアパーチュア102とビームスプリッタ106を介して光学レンズシステム108に方向付けられ、スポット110としての焦点ボリュームに集束される。集束放射線は物体112の構造に応答して伝送又は反射され、ビームスプリッタ106によってセンサアレイ116に方向付けられ且つ集束される。センサ114は精密領域でのみ集束放射線を感知し、センサ114からの信号は電子プロセッサ118に方向付けられ、電子プロセッサ118は物体の完全な複合画像を生成するのに充分なデータを格納し且つ配列する。
Claim (excerpt)：
物体の検査及び画像形成の少なくとも一方を行なうための共焦点画像形成システムであって、物体を経路に沿って搬送するための手段と、前記物体が搬送される前記経路内で前記物体に対し異なる高さにおいて複数の小さな焦点ボリュームのパターンの集束放射線を提供するための手段であって、前記放射線は前記経路に沿って移動するとともに前記物体の構造に応答して伝送又は反射される手段と、集束放射線の複数の小さな焦点ボリュームの前記パターンの拡張パターンの検出器のアレイであって、前記アレイ内の前記検出器は各々、精密領域内でのみ放射線を感知するアレイと、前記物体からの前記伝送又は反射放射線を前記検出器のアレイに方向付け且つ集束するための手段と、を有する共焦点画像形成システム。
IPC (3)：
G01N 21/88
, G01B 11/22
, G01B 11/24
