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J-GLOBAL ID：200903073264995631

ミラー偏向装置及び光交換装置

Inventor： 大高 剛一 ,  太田 英一 ,  加藤 静一 ,  南條 健
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (1)： 鈴木 誠 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001285954
Publication number (International publication number)：2003098444
Application date： Sep. 19, 2001
Publication date： Apr. 03, 2003
Summary：

【要約】【課題】 任意方向への光偏向が可能で、低電圧で駆動できるミラー偏向装置を提供する。【解決手段】 ミラー基板101の中心に設けた凹部102に、基板107側の凸部112が嵌合し、ミラー基板101は略中心を揺動中心として任意の方向に揺動可能に支持される。基板107の窪み部位に、ミラー基板101に対向した複数の駆動電極が設けられる。ミラー基板101の端と基板107に結合された折りたたみ構造の保持部103により、非駆動時にはミラー基板101はニュートラル位置に保持される。

Claim (excerpt)：

ミラー面が形成されたミラー基板と、該ミラー基板を、その略中心を揺動中心とした任意の方向の揺動が可能となるように基板部材に支持するための支持部材と、前記ミラー基板に、それを揺動させるための静電引力を作用させるための前記基板部材に設けられた複数の駆動電極と、該駆動電極による静電引力が作用しない場合に前記ミラー基板を所定のニュートラル位置に保持するための前記ミラー基板及び前記基板部材に結合された複数の保持部材とを有することを特徴とするミラー偏向装置。

F-Term (6)：

2H041AA16 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08